Onlangs heeft het Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology van de Chinese Academy of Sciences een krachtige MEMS-snelreflecterende spiegel ontwikkeld met geïntegreerde hoeksensoren . De spiegel heeft een grote omvang, een klein pakketvolume, uitstekende prestaties en groot potentieel in lasersatellietcommunicaties .
De snelreflecterende spiegel duurde bijna vijf jaar om . te ontwikkelen.
Het overwint de technische knelpunten van traditionele mechanische snelreflecterende spiegels en originele MEMS snelreflecterende spiegels, waardoor een ruimtekwestproduct ontstaat met een wijzende nauwkeurigheid van μrad, die voldoen aan de ultrahoge prestatie-indicatoren van satelliet-gebonden applicaties .
Geïnspireerd door het scherm voor mobiele telefoons, gebruikte het team het silicium piëzoresistieve spanningsprincipe om on-chip hoeksensoren te integreren, en door structurele innovatie werd de gevoeligheid verhoogd met 63%, waardoor de nauwkeurigheid van bundelcontrole . werd geoptimaliseerd .
De testresultaten tonen aan dat bij een specifieke frequentie de hoeknauwkeurigheid voldoet aan de standaard, en de maximale dynamische oppervlakte -vervorming is slechts 2 nanometers .
De ambtenaar maakte een analogie, die gelijkwaardig is aan alle ups en downs op een spiegel ter grootte van een voetbalveld dat niet de diameter van een haar overschrijdt en voldoet aan de strikte vereisten van satellietlasercommunicatie op het spiegeloppervlak .
