Zoals we allemaal weten, is er maar één fabrikant ter wereld die EUV-lithografie kan produceren, en dat is deASML van Nederland.
De reden waarom er maar één fabrikant in de wereld is, is dat ASML veel belangrijke fabrikanten bij elkaar heeft gebracht, zoals Zeiss (Zeiss), een Duits optiekbedrijf, Cymer (VS) enTRUMPF (Duitsland).
ASML heeft deze fabrikanten aan haar strijdwagen gebonden door investeringen, acquisitie, aandeelhouderschap, oprichting van onderzoekscentra, enzovoort, en deze fabrikanten zijn waarschijnlijk de enige fabrikanten ter wereld die deze producten kunnen produceren, dus uiteindelijk kan alleen ASML ter wereld dat doen. EUV-lithografie produceren.
Echter, onlangs liep een belangrijke toeleveringsketen van ASML naar Shenzhen, China om een fabriek te bouwen, haar dochteronderneming in Shenzhen vestigde zich in Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park.
Deze fabrikant is de Duitse TRUMPF Group (TRUMPF), het is ASML's EUV-lithografie, 's werelds enige leverancier van laserbronnen.
TRUMPF-producten in de EUV-lithografie, hoe belangrijk? Luister eerst naar mij, leg het principe van EUV-lithografie uit, u zult het begrijpen.
Het principe van EUV-lithografie, om het simpel te zeggen, is gecentreerd rond drie belangrijke systemen: het EUV-ultraviolette lichtbronsysteem, het objectieve spiegelsysteem en het tafelsysteem.
Het specifieke proces is om een laser te gebruiken om extreem ultraviolet licht met een golflengte van 13,5 nm op te wekken, dat vervolgens wordt gecorrigeerd om een gecontroleerde lichtstraal te vormen, die vervolgens op een fotomaskertafel wordt geprojecteerd voordat deze door een objectieve spiegel op een belichtingstafel wordt geprojecteerd. en uiteindelijk geëtst tot een circuit op een siliciumwafel bedekt met fotoresist.
Hoe een van de EUV UV-lichtbronsystemen wordt verkregen door een tinnen (Sn) metaaldruppel te bombarderen met een 30 kW krachtige CO2-laser, deze te verdampen tot een plasma en uiteindelijk EUV-licht te verkrijgen met een golflengte van 13,5 nm.
Deze 30 kW CO2-laser wordt geleverd door TRUMPF, de enige ter wereld.
Onderschat deze CO2-laser niet, hij heeft 457.329 onderdelen, de kabellengte in het systeem is maximaal 7.322 meter en het gewicht is 17.090 kg, wat een van de belangrijkste kerncomponenten is in EUV-lithografie.
Nu rende TRUMPF naar China om een fabriek te bouwen, de bedoeling is duidelijk, dat wil zeggen optimistisch over de Chinese lasermarkt, en nog meer langetermijnvisie, optimistisch over de Chinese lithografiemarkt, de toekomst kan samenwerken met China om EUV-lithografie te bouwen .
Sterker nog, er loopt al meer dan één ASML supply chain naar China om een fabriek te bouwen, er zijn KMWE en andere fabrikanten, ook naar China om een fabriek te bouwen.
Volgens de huidige trend kunnen we optimistisch verwachten dat het niet lang meer zal duren voordat de Chinese lithografietechnologie een grote stap voorwaarts zal zijn, en zelfs het volume van de uitvoer van EUV-lithografie kan ook uitkijken, denk je?
